Berendezések & Felszerelések

Technológiák:

  • Vékonyréteg készítés vákuumpárologtatással porlasztással és elektronsugaras párlogtatással
  • Nagyteljesítményű lézeres vágógép
  • Mikrohullámú plazmával működő CVD rendszer
  • Anódos oxidáció
  • Gyémántcsiszoló berendezés aszférikus optikai eszközök készítésére
  • CNC vezérelt precíziós befecskendezéses öntőberendezés
  • Elektronsugár litográfia
  • Optikai, optikai bevonatkészítő, kristálytechnológiai, mechanikai és elektronikai műhelyek.

Mérőeszközök:

  • Felületi-profil felvétele (Talysurf alakpróba és perthométer, optikai profilométer
  • Shack-Hartmann hullámfront érzékelő
  • Optikai mikroszkópok
  • Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM
  • Szekunder-ion tömegspektrométer (SIMS: érzéknység 0.01-1ppm, laterális felbontás ~ 0.1 micrometer, mélységi felbontás ~ 0.01 micrometer
  • Pásztázó Auger mikroszonda (SAM: érzékenység 1 %, laterális ~ 0,5 micrometer
  • Röntgen fotoelektronspektroszkóp (XPS; érzékynség 0.1 %, energia felbontás 0.80 eV
  • UV-, látható- és közel infravörös spektrofotométer
  • Fizeau-interferométer (optikai alak és hullámforma
  • C02 (20W, hangolható), Ar ion, He-Ne, Nd-YAG és diódalézerek
  • Látható és infravörös érzékelők és érzékelőmátrixok (PSD, CCD
  • Elektronikus mérőrendszerek (3 GHz hálózati analizátor, 12 Ghz digitális oszcilloszkóp
  • Impedancia spektroszkópia
  • Precíziós optikai pozícionálók
  • Egymódusú száloptika rendszerek
  • Ellipszometria.
  • Lézer indukált átütési spektrometria

A Tanszéken kifejlesztett rendszerek:

  • Akusztooptikai jelfeldolgozó rendszerek (spektrum analizátorok
  • Differenciális abszorpciós LIDAR
  • Fotoakusztikus és időfelbontásos fluoreszcens és NIR spektrométerek
  • Lézer Doppler anemométer
  • Transzmissziós és reflexiós NIR spektrométerek
  • Kvadrupól tömegspektrométerek (QMS) leülepedő gázok analíziséhez
  • QMS-sel összehangolt DC szenzor mérőműszer
  • QMS plazmadiagnosztika ütközésmentes in situ mintavétellel
  • Zsilipelő rendszer a leválasztó és az analitikus mérőrendszerek között
  • Kvadrupól ioncsapda a részecskék tömegmeghatározása céljából
  • Time of Flight spektrométer
  • Fotomodulált reflektometria
  • Femtoszekundumos lézer

CAD és modellezés (szuperszámítógépeken és PC-ken):

  • Optikai tervezéshez és vékonyfilmhez számítógépes programok
  • CAD az elektron -és ionoptikához
  • Mechanikai CAD rendszer
  • Számítógépes programok az atomi szintű kvantummechanikai szimulációhoz
  • Mesterséges neurális hálózati modellek
  • Programjainkat 6 szuperszámítógép központban, ill. nagyteljesítményű PC-ken (linux, ill Windows alatt) futtattjuk

Használati rend és hozzáférhetőség az Atomfizika Tanszék Felületfizika Laboratóriumához

© Terv: Molnár István,
 Megvalósítás: Sólyom Dániel (Diamondsoft BT.)